低圧力損失インラインセラミックガスフィルターピー・ジェイ

濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。

【特徴】
○濾過精度は０.０１μｍです。
○推奨流量は１０〜１６０L/minです。
○設計圧力は１７MPa（2,465PSIG）at20℃です。
○パーティクル０.０１μｍ除粒子性能９９.９９９９９９９９９９％です。
○低圧力損失です。

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型番・ブランド名	ＵＣＦシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など