株式会社ピー・ジェイ 低圧力損失PTFEガスフィルター
- 最終更新日:2012-06-20 09:47:36.0
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濾過膜はPTFE製2層構造
(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。
濾過膜はPTFE製2層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって0.01μmのパーティクル捕捉試験を実施しております。
基本情報低圧力損失PTFEガスフィルター
【特徴】
○濾過精度は0.01μmです。
○推奨流量は40〜300L/min各種です。
○最高使用圧力は0.98MPa(142PSIG)at20℃です。
○最高使用差圧は0.5MPa(72.5PSIG)at20℃です。
○最高使用温度は120℃です。
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型番・ブランド名 | TFシリーズ |
用途/実績例 | 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など |
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