活性炭ガス精製器ピー・ジェイ | イプロスものづくり

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。
超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。

基本情報活性炭ガス精製器

【特徴】
○設計圧力は０.９８ＭＰａです。（１４２ＰＳＩＧ）
○最高使用差圧は０.６８ＭＰａです。（９８.６ＰＳＩＧ）
○内蔵フィルターエレメント濾過精度は０.００３μｍ以上です。（９９.９９９９９９９％）
○初期清浄度は０.０１μｍ以上の粒子が１個以下/１００ｓｌｐｍです。
○最高使用温度は３５０℃です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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型番・ブランド名	ＧＰＦＣシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など