【変位センサー】コンフォーカル（共焦点）光学式　変位センサー三協インタナショナル

コンフォーカル（共焦点）光学式　変位センサーは、鏡面でもガラスのような透明体でも計測可能な非接触の変位計。

コンフォーカル（共焦点）光学式　変位センサーは、非接触の変位計です。複レンズを用いて多色光源としての白色光を対象物の表面で合焦させます。このときレンズは白色光が単色光に分散するように配置され、出荷時の設定により各波長に一定の距離が割り当てられます。そして対象物に正確に合焦した波長のみがスペクトロメーターにより検知され距離として測定されます。
このユニークな測定原理により、鏡面でもガラスのような透明体でも計測可能であり、透明体の場合は厚みの計測もできます。また液体のレベル測定にも適しています。

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基本情報【変位センサー】コンフォーカル（共焦点）光学式　変位センサー

【コンフォーカル（共焦点）光学式　変位センサーの特徴】
・計測レンジ：120μm〜22mm
・小さいスポット径　（7μm〜100μm）
・長いオフセット（1.5mm〜20.2mm）
・サブミクロンの分解能（0.005μm〜0.9μm）
・小型センサあり（2402シリーズ：センサ径4mm）
・鏡面体、透明体、液体計測可能
・真空使用対応可

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用途／実績例	【コンフォーカル（共焦点）光学式　変位センサーの特徴】ガラス変位及びガラス厚み測定接着剤レベル測定ガラスチューブ厚み測定ウェハ−測定