ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です
【特徴】
○使用光源：ハロゲンランプヒータ
○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける
金属膜、絶縁膜の形成に用いられる
CVDやスパッタリング装置の熱源として最適
○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを
用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
基本情報ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です
【特徴】
○使用光源：ハロゲンランプヒータ
○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける
金属膜、絶縁膜の形成に用いられる
CVDやスパッタリング装置の熱源として最適
○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを
用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ○CVD ○スパッタリング装置 |
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