基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）
オーダーメイド品を製造・販売している
ケニックス社の『真空封止・接合装置』のご案内です。
■□■特徴■□■
■陽極接合・直接接合・熱圧着接合に任意対応
■ウェハーレベルからチップレベル接合に任意対応
■加熱エリア・温度：φ6cm・Max1,000℃
■加圧：Max1,000kg/cm2
■雰囲気圧力：真空〜加圧雰囲気
■各種MEMSセンサー・マイクロチップ・次世代デバイス
■表面改質ユニット任意取り付け対応可能
■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら
お任せください。詳細は、お問い合わせ下さい。
基本情報基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）
オーダーメイド品を製造・販売している
ケニックス社の『真空封止・接合装置』のご案内です。
■□■特徴■□■
■陽極接合・直接接合・熱圧着接合に任意対応
■ウェハーレベルからチップレベル接合に任意対応
■加熱エリア・温度：φ6cm・Max1,000℃
■加圧：Max1,000kg/cm2
■雰囲気圧力：真空〜加圧雰囲気
■各種MEMSセンサー・マイクロチップ・次世代デバイス
■表面改質ユニット任意取り付け対応可能
■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら
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| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
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