フィルム連続成膜装置
ロール状フィルムを連続成膜する装置
■□■特徴■□■
■スパッタ・EB・抵抗加熱蒸着に対応
■テンションピックアップフィードバック制御
■フィルム放出ガス排気用コールドトラップ
■差動排気システム（任意設置）
■基板クリーニング機構
■抵抗値透過率モニター機構
■成膜ローラー冷温媒装置
■表裏連続成膜にも対応します（右記イメージ図参照）
■ロール幅・ロール径・巻取り速度は任意相談
■巻取り制御 UW、W、CR単独制御
■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら
お任せください。詳細は、お問い合わせ下さい。
基本情報フィルム連続成膜装置
ロール状フィルムを連続成膜する装置
■□■特徴■□■
■スパッタ・EB・抵抗加熱蒸着に対応
■テンションピックアップフィードバック制御
■フィルム放出ガス排気用コールドトラップ
■差動排気システム（任意設置）
■基板クリーニング機構
■抵抗値透過率モニター機構
■成膜ローラー冷温媒装置
■表裏連続成膜にも対応します（右記イメージ図参照）
■ロール幅・ロール径・巻取り速度は任意相談
■巻取り制御 UW、W、CR単独制御
■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら
お任せください。詳細は、お問い合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ■□■用途■□■ 有機ELやタッチパネルなど、ヘレキシブル基板を対象とした製品拡大に伴い 広い応用分野が期待されます。 |
取扱企業フィルム連続成膜装置
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