バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）リバティー

基本情報バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。
ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。
また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。
シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	WPAシリーズ
用途／実績例	シリコンウエハのフォトレジスト膜のアッシング（灰化除去処理）、表面改質、ディスカムアッシング処理等。

カタログバッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

バッチ式プラズマアッシング処理装置

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取扱企業バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

株式会社リバティー

1. 新規装置であるバッチ式プラズマアッシング処理装置、枚葉式プラズマエッチング装置（RIE/DP切替え可）、枚葉式多目的プラズマ処理ユニット、小型プラズマクリーナー、ウエハ搬送装置（ウエハソーター）、EFEM、2次元分光器や表面洗浄度検査装置の販売・サービス。 2. 中古半導体製造装置の販売・サービス及び部品等の販売。 3. お客様のご依頼・ご相談による装置開発、製作等。