バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)
バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー) http://www.ipros.jp/data/products/tmp/321301/001/img/WPA.jpg 本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。 株式会社リバティー 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > エッチング装置 WPAシリーズ -
  • ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置
    株式会社リバティー
    本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。
    ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。
    また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。
    シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。
  • バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)の製品画像です
    バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)の製品画像です

基本情報バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。
ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。
また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。
シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。

価格

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価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

WPAシリーズ

用途/実績例

シリコンウエハのフォトレジスト膜のアッシング(灰化除去処理)、表面改質、ディスカムアッシング処理等。

よく使用される業種

産業用電気機器、電子部品・半導体、教育・研究機関

カタログバッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)

  • 本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。
    ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。
    また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。
    シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。

取扱会社バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)

1. 新規装置であるバッチ式プラズマアッシング処理装置、枚葉式プラズマエッチング装置(RIE/DP切替え可)、枚葉式多目的プラズマ処理ユニット、小型プラズマクリーナー、ウエハ搬送装置(ウエハソーター)、EFEM、2次元分光器や表面洗浄度検査装置の販売・サービス。 2. 中古半導体製造装置の販売・サービス及び部品等の販売。 3. お客様のご依頼・ご相談による装置開発、製作等。

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