精密フィルター内蔵型エアガン「ウェハーガードGNフィルターガン」日本インテグリス

カートリッジ式の超精密フィルター(0.003μm)を装着して清浄なエアや窒素ガスを吹き付けることができるエアガン

エアガン本体に別売の超精密フィルターを装着することにより、高清浄なエアや窒素ガスを吹きつけることができます。専用のスパイラルチューブ(伸長時約5m)もご用意しています。

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基本情報精密フィルター内蔵型エアガン「ウェハーガードGNフィルターガン」

【主な仕様】
材質：
エアガン本体；ナイロン、SUS303
フィルター；メンブレン-PTFE、ハウジング-PP、Oリング-EPDM
スパイラルチューブチューブ; ナイロン、SUS316

エアガン本体接続： 1/4 NPTメス
除粒子径： 0.003µm

※エアガン本体、フィルター、スパイラルチューブはそれぞれ個別の販売となります。

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型番・ブランド名	ウェハーガードGNフィルターガン
用途／実績例	窒素、ドライエアの吹きつけ

ラインナップ

型番	概要
WGGB01KAG	エアガン本体（フィルター別売）
WGFG01KL5	専用フィルター（5本入）
XX671000T	スパイラブルチューブ

カタログ精密フィルター内蔵型エアガン「ウェハーガードGNフィルターガン」

ウェハーガードGN フィルターガン

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取扱企業精密フィルター内蔵型エアガン「ウェハーガードGNフィルターガン」

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。