PFAライニング SUS製ハイフロー『EP 手動式バルブ』日本インテグリス

半導体グレードで、ステンレスボディに PFA ライニングを施した大流量・高純度薬品向けの信頼性の高い手動式バルブです。

高純度薬品向けの耐薬品性に優れたフランジ一体型のPFA
ライニングバルブで、金属のコンタミネーションを嫌うプロセスに最適です。
オリフィスおよび接続配管径が大きく、大流量に対応可能です。

■ 耐腐食性に優れた構成部材
薬液透過の少ない変性PTFEダイアフラムを使用

■ 操作性に優れたデザイン
開閉状態が一目でわかるインジケーター

■ ハンドルロック
誤操作を防止するハンドルロックを標準採用

■ JIS 10K フランジ 15A ～ 50Aから選択可能

■ ISO9001、ISO14000登録認定工場による製品

※詳しくはお気軽にお問合せください。

関連リンク - https://www.entegris.com/shop/ja/JPY/p/EPManualVal…

基本情報PFAライニング SUS製ハイフロー『EP 手動式バルブ』

【主な仕様】
接液部：　PTFE、PFA
非接液部：　ステンレススチール、グラスファイバー含有ポリプロピレン、ポリカーボネート、PPS、EPDM、銅、フッ素ゴム
接続：　JIS10K 15A, 20A, 25A, 40A, 50A
最高使用圧力：　689.5 kPa @ 21 °C、414 kPa @ 90 °C
温度範囲：　21 ～ 120 °C (流体温度)

価格情報	お問い合わせ下さい
納期	お問い合わせください
用途／実績例	半導体・液晶製造などの薬液供給ライン

カタログPFAライニング SUS製ハイフロー『EP 手動式バルブ』

ハイフローシリーズ PFA ライニング手動式バルブ

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取扱企業PFAライニング SUS製ハイフロー『EP 手動式バルブ』

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。