株式会社メープル スパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット http://www.ipros.jp/data/products/tmp/333480/002/img/spatter unit.jpg マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて  使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 株式会社メープル 製造・加工機械 > 加工機械 > 真空成形機 -
スパッタ成膜ユニット 製品画像

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スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した
スパッタ成膜ユニット

【特徴】
○優れた膜厚分布を実現
○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて
 使用する事が可能
○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能
○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能
○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

基本情報スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した
スパッタ成膜ユニット

【特徴】
○優れた膜厚分布を実現
○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて
 使用する事が可能
○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能
○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能
○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

価格 -
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発売日 取扱い中
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よく使用される業種 民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定、IT・情報通信

カタログスパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット 表紙画像

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した
スパッタ成膜ユニット

【特徴】
○優れた膜厚分布を実現
○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて
 使用する事が可能
○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能
○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能
○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

取扱企業スパッタ成膜ユニット

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株式会社メープル

マスフローコントローラ|ドライ洗浄装置|UV照射装置|エリプソメーター|超音波洗浄|真空装置|等の販売。

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