ランプアールユニット
急速加熱、高精度温度分布を実現した
ランプアールユニット
【特徴】
○サークル形状の高出力赤外線ランプヒーターを用いて
基板の上下から加熱することで、急速加熱・高精度温度分布を実現
○チャンバー内面に特殊表面処理の冷却反射プレートを採用
優れたプロセス再現性と、急速冷却が可能
○処理基板：φ300mm
○最高使用温度：1000±10℃
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報ランプアールユニット
急速加熱、高精度温度分布を実現した
ランプアールユニット
【特徴】
○サークル形状の高出力赤外線ランプヒーターを用いて
基板の上下から加熱することで、急速加熱・高精度温度分布を実現
○チャンバー内面に特殊表面処理の冷却反射プレートを採用
優れたプロセス再現性と、急速冷却が可能
○処理基板：φ300mm
○最高使用温度：1000±10℃
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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