株式会社ライト製作所 RP3500SA N2パージシステムスタンドアロン
- 最終更新日：2022-01-14 12:46:54.0
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RP3500SA N2パージシステムスタンドアロン
全てのFOUPに対応した
SEMI準拠のN2パージロードポート
【特徴】
○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応
○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入
フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射）
○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善
○SEMI規格に基本的に準じている
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報RP3500SA N2パージシステムスタンドアロン
全てのFOUPに対応した
SEMI準拠のN2パージロードポート
【特徴】
○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応
○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入
フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射）
○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善
○SEMI規格に基本的に準じている
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
カタログRP3500SA N2パージシステムスタンドアロン
取扱企業RP3500SA N2パージシステムスタンドアロン
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メカトロニクスの一貫生産体制による試作と量産 ■設計・開発 ■製造、量産 ■大型精密加工 眼科眼鏡機器開発・製造（ライトンブランド） 半導体搬送装置ロードポート開発・製造 AGV開発・製造
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