成膜技術　ＤＬＣ膜プラズマイオンアシスト

ＤＬＣ膜は炭素系セラミック膜の一種であり、耐摩耗性、摺動性、離型性、耐食性、ガスバリア性に優れた膜です。

【特長】
○ＰＩＡ独自の成膜方法により、従来不可能であったゴム、樹脂、
非鉄金属(アルミ、ニッケル、チタンなど）に常温からコーティング
することが可能
○ポーラスフリーの厚膜ＤＬＣコーティングが可能
○DLCに機能を加えることが可能（撥水性　離型性　導電性等）
＊写真は常温複雑形状への高速DLCを可能としたPIAD装置
○ナノインプリント金型から、長尺、大面積基材まで成膜が可能

基本情報成膜技術　ＤＬＣ膜

PIA-DLCは室温にて成膜できることが特徴です。ゴム、樹脂、非鉄金属にその特徴が顕著に
現れます。

ゴム、樹脂に関しては、耐摩耗性、摺動性、固着防止性、ガスバリア性を付加することが
できます。

非鉄金属にはイオン注入により高密着な成膜が可能になり、１０ミクロン以上の厚膜を
施すこともできます。

また、正負パルス電源を用いることによりマイクロ金型にも成膜することが出来ます。

ＤＬＣにフッ素をドーピングすることにより離型性が向上します。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	オイルシール、Ｏリング、ゴムパッキング、ゴムシートキャリア、バイオＭＥＭＳ、ナノインプリント金型アルミエンジン部材、補機部品、複雑形状部材輸送・摺動部材各種ロール（アルミ、ゴム、硬質クロムメッキ、CFRP等）電極、端子、セパレーター等