高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ
【特徴】
○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び
チィルティング機能を搭載した多軸ステージ
○マスクのアライメントに必要な機能を装備
○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能
○省スペースでの使用が可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ
【特徴】
○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び
チィルティング機能を搭載した多軸ステージ
○マスクのアライメントに必要な機能を装備
○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能
○省スペースでの使用が可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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