-
-
-
ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭…
-
-
-
-
8インチ対応 マニュアルプローバ MP-200A
X-Yステージを搭載した 8インチ対応のマニュアルプローバ 【特徴】 ○X-Yステージを搭載 操作パネル上で早送りやジョグ送り等の簡単な遠隔操作が可能 ○測定ポイントまで素早く移動で…
-
-
-
-
12インチ対応 セミオートプローバ SA-W300S
ベースにグラナイトを採用！ 高精度位置決めが可能なセミオートプローバ 【特徴】 ○ベースにグラナイト製石定盤を採用し、駆動モーターに リニヤシャフトモーターを搭載する事により バ…
-
-
-
-
ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し …
-
-
-
-
特殊タイプ 電動マニュアルプローバ MP-200B
ズーム顕微鏡を搭載！ 15インチ液晶カラーモニターを標準装備とした作業性重視のプローバ 【特徴】 ○作業距離が長く、作業効率が向上 ○ズームレンズ採用で位置ズレが無く観察しやすい ○電動…
-
-
-
-
ローディングシステム EFEM
300mmウェハ用に開発された ローディングシステム 【特徴】 ○操作性はもちろんの事、画像計測、オート測定機等 様々な装置とのドッキングが可能 ○BBS（Building Bloc…
-
-
-
-
6・8インチ用 ウェハソータ W-ST-200A
8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対…
-
-
-
-
ガントリ移動型ステージ Ｇ５
角パイプ溶接構造を採用した ガントリー移動型リニヤモータステージ 【特徴】 ○ガントリ軸は2軸のステージを搭載しており 間にワーク受け部やコンベアを搭載 カメラ用ヘッド軸と透過照…
-
-
-
-
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの…
-
-
-
-
高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため…
-
-
-
-
高精度リニヤステージ 透過型ステージ
ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成 ○裏面のスペースも十分確保 ○高剛性ながら、安価 ○軽量化が可能…
-
-
-
-
300mmサイズのワークのプロセスに最適！
リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 石定盤で支えら…
-
-
-
-
6インチ用 ウェハローダー WR-100A
6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定…
-
- 表示件数
- 45件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
ウイングへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
