ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ
門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し
コンパクトに構成されたXYZステージ
【特徴】
○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し
300mmサイズまでの検査工程に最適
○通常の4軸ユニットに比べ
高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により
低く抑えることができ、高速での移動でも
テーブルの揺れがなく等速性に優れる
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ
門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し
コンパクトに構成されたXYZステージ
【特徴】
○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し
300mmサイズまでの検査工程に最適
○通常の4軸ユニットに比べ
高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により
低く抑えることができ、高速での移動でも
テーブルの揺れがなく等速性に優れる
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
カタログガントリ型 4軸ステージ
取扱企業ガントリ型 4軸ステージ
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精密機器の試作開発及び設計製作
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