ガントリ型　4軸ステージ

ガントリ型　4軸ステージ

石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ
門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し
コンパクトに構成されたXYZステージ

【特徴】
○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し
　300mmサイズまでの検査工程に最適
○通常の4軸ユニットに比べ
　高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により
　低く抑えることができ、高速での移動でも
　テーブルの揺れがなく等速性に優れる

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。