ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ
門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ
【特徴】
○XY軸を分離することにより、高精度を実現
○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載
○大型基板の各種プロセスに最適
○Y軸にパラレル駆動を採用
等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能
○X軸にマルチキャリア駆動を採用
2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ
門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ
【特徴】
○XY軸を分離することにより、高精度を実現
○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載
○大型基板の各種プロセスに最適
○Y軸にパラレル駆動を採用
等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能
○X軸にマルチキャリア駆動を採用
2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
カタログガントリ固定型ステージ（石定盤）
取扱企業ガントリ固定型ステージ（石定盤）
-
-
精密機器の試作開発及び設計製作
-
ガントリ固定型ステージ（石定盤）へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
