ガントリ固定型ステージ（石定盤）

ガントリ固定型ステージ（石定盤）

石定盤上にX軸ステージ
門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ

【特徴】
○XY軸を分離することにより、高精度を実現
○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載
○大型基板の各種プロセスに最適
○Y軸にパラレル駆動を採用
　等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能
○X軸にマルチキャリア駆動を採用
　2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。