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ホットステージ【基板加熱機構】超高温基板加熱ヒーター
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【セラミック・トップ・ヒーター】真空成膜用_超高温基板加熱ヒーター Max1800℃_Φ1〜Φ6inch
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【SHシリーズ 基板加熱ヒーター】(Inc/BNプレート Max1100℃)
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BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1600℃
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【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置
テルモセラ・ジャパン株式会社
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スパッタ・蒸着ソース混在 複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
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実験炉・ヒーター_「PRODUCTS GUIDE_2022」
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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
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★【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置★
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ウエハースケール グラフェン合成装置【nanoCVD-WGP】
テルモセラ・ジャパン株式会社
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★【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置★
テルモセラ・ジャパン株式会社
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多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】
テルモセラ・ジャパン株式会社
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◆ANNEAL◆ ウエハーアニール装置
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【nanoPVD-S10A】RF/DCマグネトロンスパッタリング装置
テルモセラ・ジャパン株式会社
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多元マルチスパッタリング装置【MiniLab-S125A】Φ8"対応
テルモセラ・ジャパン株式会社
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【MiniLab】 蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム
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