株式会社ヤシマ

真空技術を基幹として、新しい技術による薄膜作製装置を提供しています。ま…

次世代技術において薄膜作製の必要性はますます増えてまいります。薄膜作製においては低温下で、かつ緻密な、またそうであって生産性も高い、そんな技術が求められています。弊社は従来の対向ターゲット式スパッタ方式ではなしえなかったアーク放電対策を可能にし、上記の条件を満たすユニフォームプラズマスパッタ装置を製作販売しております。

• 産業用電気機器
• 大阪府 高槻市

ノベリオンシステムズ株式会社

先進のプラズマ技術で微細加工の未来を拓くノベリオンシステムズ株式会社

ノベリオンシステムズ株式会社は、プラズマ応用装置の開発と製造販売、特殊成膜プロセスの加工受託を軸に事業を展開している会社です。技術開発型ベンチャー企業として、新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR（電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています。

• 製造・加工受託
• 京都府 京田辺市