ノベリオンシステムズ株式会社
先進のプラズマ技術で微細加工の未来を拓くノベリオンシステムズ株式会社
ノベリオンシステムズ株式会社は、プラズマ応用装置の開発と製造販売、特殊成膜プロセスの加工受託を軸に事業を展開している会社です。技術開発型ベンチャー企業として、新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています。