『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

に対応 　■ケース主要部品にアルミ材を使用 ◎クリーンケース 　■HEPA装置を搭載し、外部電源、または専用バッテリーで駆動 　■清浄度クラス100以下を実現 　■静電気除去装置「イオナイザー」を装備 ◎第6世代からの大型基板非接触搬送ケース 　■ガラス基板を非接触で搬送できる 　■振動吸収パレットにより、搬送時に振動を吸収 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

ウエハチップ自動搬送・自動撮影システム『YATシリーズ』

顕微鏡メーカーを問わず搬送可能！

【仕様】 ■標準仕様 　・ウエハキャリアマッピング 　・ウエハ飛び出し検出 　・エラーナンバー表示 ■オプション 　・静電気対策（イオナイザー） 　・クリーン度向上対策（HEPA/ULPA） 　・サンプルサイズ・形状対応 　・ウエハサイズ共用（2種まで） 　・複数カセット対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤマトハンズ