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両面研磨後の洗浄された300mmウェーハを乾燥させる装置です
・エアーブローにてウェーハを乾燥させます。 ・圧縮空気で駆動するため電気は使用しません。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム
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