大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

『他社とのコラボによる複合装置の新規展開-1』

カレット・粘着物を強力除去！パネル反転機構を設置したテープ研磨付き洗浄…

シ等の消耗部品のメンテナンスが容易です。 【特長】 ■2流体、高圧シャワー、特殊ブラシ等を組合せる事も可能 ■アンローダーにより、偏光板貼付装置とのドッキングが可能 ■ローダーにより、カセット・トレイからの自動供給が可能 ■確かな技術力かつ低コストを実現 ■デモ機によるテストが可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ＩＣＭ株式会社

『他社とのコラボによる複合装置の新規展開-2』

パネル製造工程の保護フィルム剥離と洗浄の一体化による効率化とコスト低減…

、様々な方式の洗浄ツールを 組合せることもできます。 【特長】 ■人件費を削減 ■洗浄装置との連結により作業効率（生産能力）の向上 ■様々な方式の洗浄ツールを組合せることも可能 ■カセット・トレイからの自動供給・収納が可能 ■デモ機によるテストが可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ＩＣＭ株式会社