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ガラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニットです。…
各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。 特許取得商品です。 滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムース...
メーカー・取り扱い企業: 高津伝動精機株式会社
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