大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

『SiC（シリコンカーバイド）工業用セラミックス』

高い曲げ強度と疲労強度の「ラビセッター」をはじめとしたラインアップをご…

ご紹介します。 衛生製品の研削作業を大幅に削減できる「ラビセッター」をはじめ、 優れた製品寿命サイクルを備えた「カラープレート」や「バット」 「ビーム／形材」「十字型スペーサ」「H型カセット」などをラインアップ。 非常に優れた耐熱衝撃性を有しています。 炉内雰囲気や用途により特に強化させたい特性などございましたら、ご相談下さい。多くはお客様の用途に合わせカスタマイズされた...

メーカー・取り扱い企業： シュンク・カーボン・テクノロジー・ジャパン株式会社