大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

集塵機　ＦＶ－３００Ｒ－３／５００Ｒ－３

手動脱塵式集塵機

【特徴】 ○高圧設計されていますので、吸引力は強力で十分な余裕があります。 ○フィルター濾過面積を大きくとってありますので、目詰まりがしにくくなっています。 ○交換が簡単なカセット式のフィルターを採用しています。 ○サイレンサーが内蔵されていますので、運転音は静かです。 ○プリント基板穴明機用には５㏋タイプは６軸、３㏋タイプでは４軸まで対応いたします。 ●詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 不二プラント工業株式会社

集塵機　ＦＲ－３０４／５０４

手動脱塵式集塵機

【特徴】 ○高圧設計されていますので、吸引力は強力で十分な余裕があります。 ○フィルター濾過面積を大きくとってありますので、目詰まりがしにくくなっています。 ○交換が簡単なカセット式のフィルターを採用しています。 ○サイレンサーが内蔵されていますので、運転音は静かです。 ○プリント基板穴明機用には５㏋タイプは６軸、３㏋タイプでは４軸まで対応いたします。 ●詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 不二プラント工業株式会社