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PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能
前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 (成膜、エッチング・アッシング、アニール) カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成(ロードロックタイプ、インラインタイプなど)をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。(加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他) ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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6インチ用 ウェハローダー WR-100A
6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能(オプション) ●その他機能や詳細については、カタログ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウイング
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