大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高精度コーター

メンテナンス性の向上！カセットチェンジ機構に対応した高精度コーター

当社では、特殊カップリングの採用した『高精度コーター』を 取り扱っております。 塗工液粘度範囲は1～50,000(mPas)、塗工厚み範囲は1～(μm wet)です。 カセットチェンジ機構に対応し、メンテナンス性の向上が 図れます。 【特長】 ■高精度モーターの採用 ■特殊カップリングの採用 ■高精度軸受の採用 ■カセットチェンジ機構に対応 ■メンテナ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

塗工装置『CEDコーター』

全塗工工程が完全密閉状態で進む！最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

【製品紹介】 ○クリーンブース内CEDコーター →クリーンパーテーション内に塗工ヘッドを設置し、 　塗工部でのクリーン度をアップ →「発塵を極力抑えたい」というお客様に最適 ○クリーン用カセットチェンジタイプCEDコーター →薄膜から厚膜まで、幅広い塗工レンジに対応するコーターヘッドが特徴 →様々な塗工方法がかなうクリーンルーム用のCEDコーター ○ポンプユニット →CEDコータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート