大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

器具洗浄機

複雑な形状、様々なサイズの器具の洗浄にも対応！多彩なKITノズルやカセ…

サイズやスペックなど、お客様のご要望に合った器具洗浄機を製作します。 【特徴】 ■洗浄バリエーションに合わせたカートリッジ ■お客様のご要望に合わせたフィルター処理 ■GMP対応 ■導電率計導入で洗浄水を安全で最大限に循環使用 ...□その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社KIT(キット）