FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-800シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1900

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 121℃ [最大使用圧力] 20.7MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro 高温用ガスフィルター　TEM-700シリーズ

最高使用温度　400℃対応の高性能メンブレンガスフィルター

＠0.01ミクロン） [最大使用温度] 400℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [グラスマイクロファイバー] 100%グラスマイクロファイバー(SUS316Lメッシュで支持) [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-400シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-300シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-100シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-500シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-200シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1200

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1500

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1400

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1300

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1100

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1800

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 121℃ [最大使用圧力] 5.16MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

の他材質] PTFE/FEP/FKM [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 121℃ [最大使用圧力] 20.7MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部