薄膜塗工やシビアなプロセスに！高精密油圧式定量ポンプTPL

PR光学フィルム・セパレータなど各種機能性フィルムの薄膜塗工に！

精密ポンプのタクミナが提供する様々なニーズに応える課題解決型ポンプ「スムーズフローポンプ」 「TPLシリーズ」は再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下の連続一定流を実現。ダイヤフラムポンプの特性である脈動を抑止し、ナノ単位の精度が求められる先進的な技術分野で実力を発揮、高い精度が求められるシビアなプロセスで選ばれ続けています。 【主な特長】 ■再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下 精密薄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクミナ 本社

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

■国内マスク製造メーカー業界ではシェアー90%を誇ります。 ■「研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」に最適。 ■デバイスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

【高品質・高性能】『スピンスクラブ洗浄装置シリーズ』のご紹介！

量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フ…

応した装置です。 　◆シリーズ累計200台以上のロングセラー機種です。 　◆国内マスクでは業界シェア90％以上の豊富な実績！ 　◆デバイスメーカー各社様にも多数台の実績有ります。 　◆「コンタクト露光時に密着したレジスト除去」にも多数台の実績！ ※PDF資料をダウンロードいただくか、気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング