超高真空窓・極高真空窓

熱歪みのない窓。高精度計測・レーザー導入用

した世界で唯一無二の最大径超高真空窓(メタルシール)です。大出力・大口径・照射むらなしのキセノンランプ(172nm)光源用の窓として最適です。 光洗浄でなくてはならないキセノン光源は、瞬時にシリコンウエハーの洗浄・改質は勿論、FPD及び太陽電池等の洗浄・改質等もできます。生産性の大幅な向上は勿論、品質をより高めて、歩留まりの顕著な改善にも役立つものと確信しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渋谷光学