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ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーで…
『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/8.6.4インチ、8.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。 エッチングチャンバーの上下可動方式で2本のアームによる動きは旋回、上下運...
メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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