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異物混入リスクを低減できる減圧弁<FOOMA JAPAN出展>
PR「FOOMA JAPAN 2024」にサニタリー減圧弁(接液部に摺動部…
-サニタリー減圧弁- 当社では、ピュアスチーム・クリーンスチーム用の減圧弁を提供しています。 液溜まりの無い構造でサニタリー性が良いほか、 接液部には摺動性がないため、異物混入リスクを低減できます。 【仕様】 ■作動方式:直動式 ■本体材質:SUS316 ■接液部仕上げ:バフ#320~400+電解研磨 ■サイズ:15A~3S ■設計温度:158℃ ■設計圧力:0.5MPaG ■...
メーカー・取り扱い企業: トーステ株式会社
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価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を…
小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。また本体以外はPUMPのみの省スペース化を実現しております。...【仕様】 ○処理方式 同軸バレル型 ○処理室 円筒・縦型・石英チャンバー ○RF電源 600~2000W 13.56MHz オートチューニ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト
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価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…
WLPは多様化したアプリケーションに対応する為、RFパワーを下部電極に印加(RIE方式)又は、上部電極に印加(DP方式)を実現しております。 6~8インチのSi、Poly-Siなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。 ...【仕様】 ○処理方式 平行平板プラズマ励起方式(DP/RIE切替可) ○処理室 AL製(シング...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト
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