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ドライ洗浄により冶具が長持ち・コスト削減!ウェット洗浄に比べて大幅な時…
を発揮します。 ★☆★【無料デモ】実施中!!★☆★ 【特徴】 ●GaN成膜装置に使用する各種冶具のドライ洗浄に最適 ●洗浄可能な冶具は、SiCコートカーボン、石英等。 ●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能 。 ●ウェット洗浄に必要な高価な大量の予備部品は不要 ●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能! ●作業者に負担のかからない安全設計。 ★【無...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メープル
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