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ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置 ■手動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置
・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ(自動メカ付) ○扉センサー(自動メカ付) ○圧力スイッチ ○温度センサー(恒温度仕様) ○自動消火システム ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス ○爆圧ハッチ ○各種...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管
さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております。...【特長】 ■レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。 ■庫内はクリーンな環境が維持できます。 ■バーコード管理にも対応できます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…
自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ φ2~12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン