真空装置・真空チャンバー・TSクランプ・フランジ

PRステンレス材の溶接・加工を専門に取り扱う総合メーカー！真空装置は構想～…

JIS、ANSI、DINや国際規格の『フランジ製品』をはじめ、 高いシール性を有し、メンテナンス性にも優れ 使用圧力や用途にも応じた選択が可能な『クランプ継手』、 真空装置向けの『真空チャンバー』といったSUS製品を製造・販売。 製作工程の標準化により、コストダウン・納期短縮を実現しているほか、 特殊寸法や形状加工などのご要望にもお応えできます。 また、真空装置は構想～設計・据え付けまで対応可...

メーカー・取り扱い企業： 東洋ステンレス化工株式会社

サーマルALD装置『Phoenix G2』

量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～…

『Phoenix G2』は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。 優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、 多用途に対し容易に使用可能。 また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、 適切なチャンバーサイズ(＜370mm×470mm)となっております。 【特長】 ■優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ