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複数の基材へのフォトリソコート液の薄膜ディップコーティング装置
本装置は、複数の3.5inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティングを目的とした、DIP/乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を応用したディップコーターです。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SDI
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