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各工程インテグレードで効率生産!!!
<特徴> MLCSP、C-MOSno裏面配線用両面アライメント露光装置です。 エンバイロメント(Foup)を装備し、GEM300、OHTも対応 スピンコーター、デベロッパーもインテクレード可能、レジストコートから露光、現像まで全自動で パターニングが可能(オプション) レチクル自動交換(オプション) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社清和光学製作所
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