【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

超小型ピラニ真空計【基板1枚でピラニセンサー4回路分をサポート】

制御基板1枚でピラニセンサー4回路分をサポートする超小型ピラニ真空計！…

当社では、アンペール社製の「ピラニ真空計」を取扱っています。当製品は制御基板1枚でピラニセンサー4回路分をサポートする超小型のピラニ真空計です。ピラニセンサー部と制御部を分離してコストダウンが可能なほか、インターフェイスにＥthe...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リュウセイ