【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーし…

GF100 シリーズ 高純度マスフロー ・Quantim コリオリマスフロー ■真空・圧力計測と制御 ・XacTorr シリーズ キャパシタンスマノメータ ・VersaTorr シリーズ ピラニ真空トランスデューサ ・SolidSense II プレッシャートランスデューサ ・SLA シリーズ プレッシャーコントローラ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社