【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

独自技術を採用したガラス加工用レーザー装置

PR高速かつ正確なガラス微細加工が可能。加工時の応力を抑えて、マイクロクラ…

『LPKF Vitrion M 5000 Gen2』は、独自に開発した「LIDEプロセス」を採用し、±5μm以下の高精度でガラス微細加工が可能なレーザーシステムです。 加工時の応力を最小限に抑え、チッピングやマイクロクラックの発生を防止。 アドバンストパッケージングで標準使用される150×150mmから 510×515mmまでの大型パネルに対応し、基板のサイズや 形状に合わせて柔軟に対...

メーカー・取り扱い企業： LPKF Laser&Electronics株式会社

【データ・インテグリティ対応】ラボ向けプロセス管理用ソフトウェア

LIMSだけでは不十分？！ラボ向けプロセス管理用ソフトウェア、LabX…

FDAがデータインテグリティガイダンスを発表してから対応方針が決まり、徐々に実際の対応に動き出したという企業が増えてきましたが、その対応は本当に充分でしょうか？ 多くのユーザー様がLIMSなどラボで使われる一般的な情報システムを既に導入されていますが、これらのシステムの致命点は試験成績書しか記録されない点です。 ある試験結果を得るに至った工程において、完全で矛盾がなく、正確であることを証明...

メーカー・取り扱い企業： メトラー・トレド株式会社