フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

『インバリアント分析技術ソリューション』事例付き提案資料進呈中！

設備の予兆保全に。大量のセンサデータを収集・分析し、「いつもと違う」を…

緊急修理の必要性と関連コストを削減可能 ◎品質監視 設備状態の継続的なモニタリングにより、製品の品質を高く維持し、 不良品発生の可能性を最小限に抑制可能 ◎労働効率 モニタリングプロセスを自動化することで、貴重な人的資源を確保し、 スタッフはより重要な業務に集中できる ◎安全性と信頼性 問題が発生する前に検知することで、より安全な作業環境と信頼性の高いオペレーションを実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドバネット