組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』

エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能な高圧ポンプ

『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して 膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。 エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能。 昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や カルレッツ（KLZ仕様）を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト