自動検査装置『BMWシリーズ』

歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置

『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する 微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの 歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、 レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値等の詳細データを ユーザーに提供、プロセスの安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/

MF-Tokyo2015 プレス・板金・フォーミング展に出展！

金型交換無しで様々な形状を加工！量産だけでなく、小ロット生産に対応！特…

ハイブリッドコンパクトパネルベンダーはABA 自動金型長設定装置搭載の手動搬入出タイプのパネルベンダーです。金型交換無しで様々な形状を加工することができます。量産だけでなく、小ロット生産に対応。特型不要で試作にも大活躍。 ■ブランクホルダー、ベンディングユニットには電動アクチュエターを使用し、油圧回路、タンクを排除。オイル交換が不要となりました。 ■従来のP2Xe よりも厚板を曲げられるよ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サルバニーニジャパン