シリコン系ドライエッチング湿式廃ガス除害装置

クリーンエスＺ除害筒を機能付のBOX内に収納しシステムとして安全に使用

シリコン系ドライエッチング湿式廃ガス除害装置「クリーンエスF100」は、クリーンエスＺシリーズ除害筒を機能付のBOX内に収納し、システムとして安全に使用できます。（圧力検知バイパスシステム、色相検知システム、ヒーティングシステム、重量検知システム等）処理対象ガスは、HBr・HF・SiF4・SF4・HCL等です。薬液交換方式として薬液の破過検知はPHの連続測定により行い、終点に達した場合警報にてお知...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ホクエツ