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FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比５倍高速・高…
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50ｍｍ範囲を３Ｄ形状計測できる 計測時間：１μｍ分解能 約３５秒 5μｍ分解能 約１０秒 ●計測幅：0.8μｍ 深さ：５nm ●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・ドライブ
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